日本JSR計劃興建中國臺灣工廠，與臺積電合作開發先進光刻膠

占據全球光刻膠市場約五分之一份額的日本化工企業JSR計劃在中國臺灣興建其首座生產工廠，與臺積電合作開發先進光刻膠。該公司于4月初與一家中國臺灣公司合作成立合資企業，并計劃最早于2028年投產，為此將投資數千萬美元。

該工廠的建成將彌補JSR在中國臺灣市場相對于其兩大日本競爭對手的劣勢。東京應化工業株式會社（TOK）和信越化學株式會社均已在中國臺灣設有生產工廠，并與臺積電直接合作開發光刻膠。

光刻膠是一種感光材料，用于在光刻過程中將電路圖案轉移到硅片上。在先進工藝節點上，光刻膠必須經過精確調校，才能與特定的光刻設備和刻蝕化學工藝配合使用。這種調校需要光刻膠供應商和代工廠之間不斷反復溝通。

JSR目前通過從其位于日本、美國和比利時的工廠向中國臺灣客戶寄送樣品來開發產品，但每次往返可能需要數周時間，這拖慢了迭代過程，而其競爭對手可以在本地生產基地更快地完成迭代。在中國臺灣建廠可以讓JSR的工程師更緊密地融入臺積電的研發團隊，TOK和信越化學已經采用這種模式。除了光刻膠之外，JSR還考慮在中國臺灣工廠生產其他材料，例如用于平滑半導體襯底的研磨劑。

JSR在中國臺灣的擴張是其更廣泛擴張計劃的一部分。與此同時，該公司還在韓國建設全球首個金屬氧化物光刻膠（MOR）量產工廠，預計將于2026年開始量產。該工廠將為三星電子和SK海力士供應用于EUV光刻的錫基MOR。

與舊工藝節點使用的傳統化學放大光刻膠相比，MOR能更有效地吸收EUV光子，從而實現更高的分辨率和更少的圖案缺陷。JSR于2021年收購MOR領域先驅Inpria公司，并自此一直在開發基于氧化錫的配方。該公司還計劃向臺積電銷售MOR，從而為臺積電在2nm及以下工藝節點所需的下一代EUV和High NA EUV生產線做好準備。

日本公司合計占據全球光刻膠市場約80%的份額，并幾乎完全主導高端EUV市場。中國企業已在KrF和i-line層面取得進展，但在ArF及以上級別的市場滲透率仍然很低。

“中國企業構成威脅，但他們還需要一段時間才能趕上我們并搶占市場份額。”JSR負責電子材料業務的高級主管Toru Kimura表示。JSR的戰略似乎是通過在技術壁壘最高的尖端領域建立合作開發關系來保持領先地位。（校對/趙月）