中國電科旗下電科裝備已實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋

2023-07-11 來源：國際電子商情

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7月3日，中國電子科技集團有限公司(簡稱中國電科)官網(wǎng)刊文指出，中國電科連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋重大科技成果，有力保障中國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

研發(fā)人員正在調(diào)試離子注入機(圖片來自中國電科官網(wǎng))

離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

當前，28納米是芯片應用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據(jù)介紹，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局，實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

據(jù)了解，作為國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計到量產(chǎn)應用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設(shè)備廣泛應用于國內(nèi)各大集成電路先進產(chǎn)線，累計流片2000萬片，有力提升中國產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。

大束流離子注入機成功入選《推薦目錄(2022年版)》

此前于今年5月，電科裝備官網(wǎng)刊文指出，電科裝備北京爍科中科信公司大束流離子注入機作為高端裝備成功入選《中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果推薦目錄(2022年版)》(以下簡稱《推薦目錄》)。本次推薦目錄共涉及核心電子元器件、關(guān)鍵零部件、分析測試儀器、基礎(chǔ)軟件、關(guān)鍵材料、先進工藝、高端裝備七個領(lǐng)域。

大束流離子注入機作為全系列離子注入機中的拳頭產(chǎn)品之一，北京爍科中科信以創(chuàng)新賦能其產(chǎn)業(yè)化進程，用技術(shù)迭代提升其產(chǎn)品性能，全面保障了設(shè)備在產(chǎn)線的運行狀態(tài)，展現(xiàn)了更高水平的產(chǎn)能，切實維護了集成電路領(lǐng)域供應鏈的安全。目前，低能大束流離子注入機8寸產(chǎn)線已實現(xiàn)了工藝全覆蓋及批量跑貨，累計跑貨量超500,000片，12寸產(chǎn)線28nm及以上工藝實現(xiàn)全覆蓋，應用于先進制程的高溫注入機已完成整機設(shè)計及組裝，現(xiàn)已實現(xiàn)在高溫600℃以上時，設(shè)備仍能均勻吸附晶圓，且能夠保障高效穩(wěn)定傳輸。