增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目搬入首臺設(shè)備

據(jù)增芯科技官微消息，12月28日，廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式。

據(jù)悉，本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線項目搬入的首臺生產(chǎn)設(shè)備，運用了中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，是國際主流芯片生產(chǎn)線上必不可少的設(shè)備。該設(shè)備的搬入，是繼項目“920封頂”以來的重要交付，標(biāo)志著增芯項目一期工程土建和機(jī)電安裝已經(jīng)完工，項目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運營前的生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

此前消息顯示，該項目占地面積達(dá)370畝，分兩期建設(shè)。根據(jù)規(guī)劃，增芯項目將建設(shè)月加工能力達(dá)2萬片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線，預(yù)計2024年6月通線。