日本JSR計劃興建中國臺灣工廠，與臺積電合作開發(fā)先進光刻膠

占據全球光刻膠市場約五分之一份額的日本化工企業(yè)JSR計劃在中國臺灣興建其首座生產工廠，與臺積電合作開發(fā)先進光刻膠。該公司于4月初與一家中國臺灣公司合作成立合資企業(yè)，并計劃最早于2028年投產，為此將投資數千萬美元。

該工廠的建成將彌補JSR在中國臺灣市場相對于其兩大日本競爭對手的劣勢。東京應化工業(yè)株式會社（TOK）和信越化學株式會社均已在中國臺灣設有生產工廠，并與臺積電直接合作開發(fā)光刻膠。

光刻膠是一種感光材料，用于在光刻過程中將電路圖案轉移到硅片上。在先進工藝節(jié)點上，光刻膠必須經過精確調校，才能與特定的光刻設備和刻蝕化學工藝配合使用。這種調校需要光刻膠供應商和代工廠之間不斷反復溝通。

JSR目前通過從其位于日本、美國和比利時的工廠向中國臺灣客戶寄送樣品來開發(fā)產品，但每次往返可能需要數周時間，這拖慢了迭代過程，而其競爭對手可以在本地生產基地更快地完成迭代。在中國臺灣建廠可以讓JSR的工程師更緊密地融入臺積電的研發(fā)團隊，TOK和信越化學已經采用這種模式。除了光刻膠之外，JSR還考慮在中國臺灣工廠生產其他材料，例如用于平滑半導體襯底的研磨劑。

JSR在中國臺灣的擴張是其更廣泛擴張計劃的一部分。與此同時，該公司還在韓國建設全球首個金屬氧化物光刻膠（MOR）量產工廠，預計將于2026年開始量產。該工廠將為三星電子和SK海力士供應用于EUV光刻的錫基MOR。

與舊工藝節(jié)點使用的傳統(tǒng)化學放大光刻膠相比，MOR能更有效地吸收EUV光子，從而實現更高的分辨率和更少的圖案缺陷。JSR于2021年收購MOR領域先驅Inpria公司，并自此一直在開發(fā)基于氧化錫的配方。該公司還計劃向臺積電銷售MOR，從而為臺積電在2nm及以下工藝節(jié)點所需的下一代EUV和High NA EUV生產線做好準備。

日本公司合計占據全球光刻膠市場約80%的份額，并幾乎完全主導高端EUV市場。中國企業(yè)已在KrF和i-line層面取得進展，但在ArF及以上級別的市場滲透率仍然很低。

“中國企業(yè)構成威脅，但他們還需要一段時間才能趕上我們并搶占市場份額。”JSR負責電子材料業(yè)務的高級主管Toru Kimura表示。JSR的戰(zhàn)略似乎是通過在技術壁壘最高的尖端領域建立合作開發(fā)關系來保持領先地位。（校對/趙月）