華海清科全資子公司交付自主研發12英寸大束流離子注入機

近日，國產半導體前道裝備取得關鍵技術突破。華海清科全資子公司芯崳半導體自主研發的 12英寸大束流離子注入機iPUMA?LE，正式交付國內先進存儲龍頭企業，標志著國產高端離子注入裝備成功切入先進存儲制造核心賽道。

離子注入機是晶圓制造前道七大核心裝備之一，在芯片生產環節不可或缺。該設備主要用于對晶圓進行精準離子摻雜，直接決定芯片摻雜精度、器件性能與制程穩定性，是先進邏輯芯片、先進存儲芯片量產的關鍵瓶頸裝備，長期由海外企業主導，國產化替代難度極高。

此次iPUMA?LE機型順利交付，意味著芯崳半導體在大束流離子注入領域實現重要產業化落地。作為華海清科布局離子注入賽道的核心成果，該設備適配12英寸先進存儲產線工藝需求，可滿足存儲芯片高密度、高精度摻雜生產要求，性能與穩定性達到國內先進水平，補齊了國產前道裝備的重要短板。

先進存儲產業是我國半導體自主化攻堅的重點領域，存儲芯片量產對離子注入等核心裝備依賴度高。過去相關設備國產化率偏低，制約產線擴產與技術迭代。本次交付落地，驗證了國產離子注入機在先進存儲場景的適配能力，為后續大規模批量導入奠定基礎，加速存儲產線設備自主可控進程。

此次突破是國產半導體裝備自主化的重要一步。華海清科依托在清洗設備領域的技術積淀，持續拓展離子注入等前道裝備品類，完善國產裝備矩陣。隨著更多核心裝備實現落地應用，將進一步降低我國半導體產業對外依存度，助力先進存儲、先進制程產業高質量發展。

（校對/李正操）