廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮裝置獲客戶驗證

5月7日，廣鋼氣體在投資者互動平臺表示，公司自主研發的“Super-N”系列超高純制氮裝置，可穩定生產并持續供應ppb級（十億分之一）超高純氮氣，滿足集成電路制造對氣體純度的嚴苛要求。目前，Super-N 30K、50K型號已在國內多家頭部半導體客戶現場落地應用。、

廣鋼氣體是國內領先的電子大宗氣體綜合服務商，于2023年8月登陸科創板，成為“中國電子大宗氣體第一股”。公司是國務院國資委“科改示范企業”及廣州市國資委重點混合所有制改革項目企業，主營業務為以電子大宗氣體為核心的工業氣體的研發、生產和銷售。

Super-N系列制氮裝置由廣鋼氣體完全自主研發，針對電子大宗客戶的大規模供氣需求設計。該裝置可在5000Nm3/h及以上的供氣量時，不通過后置純化系統即可直接產出雜質含量控制在1ppbv以內的氮氣，純度達到國內最高質量標準。與國內其他廠家及國際頂尖廠家的制氮機相比，Super-N系列在純度、產品規格等參數上領先國內廠家，與國際頂尖廠家持平；在經濟性和交付周期方面則優于國際頂尖廠家。裝置可靠性指標已追平外資同類產品，平均修復時間≤8小時，平均失效間隔≥4000小時，在線時間≥99.8%。

2025年8月，廣鋼氣體建德智能裝備制造基地正式投產，并成功下線首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高純制氮機大型模塊化真空冷箱。該基地的投產標志著我國在超高純電子大宗氣體核心裝備領域實現全鏈路自主可控，從核心材料、控制系統到制造工藝實現100%國產化，徹底打破海外企業長達20年的技術壟斷。（校對/鄧秋賢）