Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監測系統

Picarro宣布推出經我們完全優化的AMC監控系統——Picarro SAM（取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor）。該系統由Picarro在業界領先的基于CRDS的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統中。SAM單元可提供高通量采樣，而不會影響傳感器的性能。

新的Picarro SAM系統是從組件產品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統的好處包括：

針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無集成兼容性問題

Picarro SAM系統進行過精心優化——系統性能符合Picarro Semi系統規格

新發明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優勢，使其在很短的時間內達到萬億分之幾（ppt）的檢測靈敏度，并能快速將SAM系統恢復到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監視系統的理想選擇。該系統帶有易于使用的圖形用戶界面，可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口采樣，并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸，這三個關鍵AMC會影響半導體晶圓的產量。展望未來，我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其它氣體提供SAM系統。

SAM系統路線圖還將支持復雜的AMC分析，以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置，從而允許采取更快的糾正措施，以提高與AMC相關的晶圓產量。