15.76億！中微公司宣布收購杭州眾硅64.69%股權

3月30日，中微公司發布公告稱，擬通過發行股份及支付現金的方式購買杭州眾芯硅、寧容海川、臨安眾芯硅、臨安眾硅、杭州芯匠、杭州眾誠芯等41名交易對方合計持有的杭州眾硅64.69%股權，此次交易對價約15.76億元。同時，中微公司募集配套資金不超15億元，用于高端半導體設備產業化項目、高端半導體設備研發中心項目、支付現金對價及中介機構費用、補充流動資金。

公告顯示，杭州眾硅的主營業務為化學機械平坦化拋光（CMP）設備的研發、生產及銷售，屬于濕法工藝核心設備，并為客戶提供CMP設備的整體解決方案，是國內少數掌握12英寸高端CMP設備核心技術并實現量產的企業。

通過本次交易，中微公司將成為具備“刻蝕+薄膜沉積+量檢測+濕法”四大前道核心工藝能力的廠商，成功實現從“干法”向“干法+濕法”整體解決方案的關鍵跨越。這一整合不僅填補了上市公司在濕法設備領域的空白，更顯著提升了公司在先進制程中為客戶提供系統級整體解決方案的能力。面對先進晶圓廠和先進存儲廠對工藝協同性、產線穩定性與整體效率日益嚴苛的要求，上市公司可為客戶提供高度協同的成套設備解決方案，大幅縮短工藝調試和驗證周期，從而增強客戶黏性，加速上市公司在主流產線的規模化滲透。

據了解，中微公司主營業務為高端半導體設備的研發、生產和銷售，向下游集成電路、LED 外延片、先進封裝、MEMS 等半導體產品的制造公司銷售刻蝕設備、薄膜設備和 MOCVD 設備、提供配件及服務，在等離子體刻蝕與薄膜沉積等干法設備領域已具備國際領先的技術實力。上市公司核心產品覆蓋高能/低能等離子體刻蝕（CCP、ICP）、MOCVD、LPCVD、ALD 及 EPI 等關鍵工藝設備。（校對/孫樂）