廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮裝置獲客戶(hù)驗(yàn)證

5月7日，廣鋼氣體在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司自主研發(fā)的“Super-N”系列超高純制氮裝置，可穩(wěn)定生產(chǎn)并持續(xù)供應(yīng)ppb級(jí)（十億分之一）超高純氮?dú)猓瑵M(mǎn)足集成電路制造對(duì)氣體純度的嚴(yán)苛要求。目前，Super-N 30K、50K型號(hào)已在國(guó)內(nèi)多家頭部半導(dǎo)體客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)落地應(yīng)用。、

廣鋼氣體是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的電子大宗氣體綜合服務(wù)商，于2023年8月登陸科創(chuàng)板，成為“中國(guó)電子大宗氣體第一股”。公司是國(guó)務(wù)院國(guó)資委“科改示范企業(yè)”及廣州市國(guó)資委重點(diǎn)混合所有制改革項(xiàng)目企業(yè)，主營(yíng)業(yè)務(wù)為以電子大宗氣體為核心的工業(yè)氣體的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

Super-N系列制氮裝置由廣鋼氣體完全自主研發(fā)，針對(duì)電子大宗客戶(hù)的大規(guī)模供氣需求設(shè)計(jì)。該裝置可在5000Nm3/h及以上的供氣量時(shí)，不通過(guò)后置純化系統(tǒng)即可直接產(chǎn)出雜質(zhì)含量控制在1ppbv以?xún)?nèi)的氮?dú)猓兌冗_(dá)到國(guó)內(nèi)最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。與國(guó)內(nèi)其他廠(chǎng)家及國(guó)際頂尖廠(chǎng)家的制氮機(jī)相比，Super-N系列在純度、產(chǎn)品規(guī)格等參數(shù)上領(lǐng)先國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家，與國(guó)際頂尖廠(chǎng)家持平；在經(jīng)濟(jì)性和交付周期方面則優(yōu)于國(guó)際頂尖廠(chǎng)家。裝置可靠性指標(biāo)已追平外資同類(lèi)產(chǎn)品，平均修復(fù)時(shí)間≤8小時(shí)，平均失效間隔≥4000小時(shí)，在線(xiàn)時(shí)間≥99.8%。

2025年8月，廣鋼氣體建德智能裝備制造基地正式投產(chǎn)，并成功下線(xiàn)首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高純制氮機(jī)大型模塊化真空冷箱。該基地的投產(chǎn)標(biāo)志著我國(guó)在超高純電子大宗氣體核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全鏈路自主可控，從核心材料、控制系統(tǒng)到制造工藝實(shí)現(xiàn)100%國(guó)產(chǎn)化，徹底打破海外企業(yè)長(zhǎng)達(dá)20年的技術(shù)壟斷。（校對(duì)/鄧秋賢）