德滬涂膜交付首臺MicroLED涂布設備

5月11日，德滬涂膜設備宣布完成首臺Micro LED專用精密狹縫涂布設備交付，標志著公司正式進入Micro LED工藝裝備領域。該設備主要面向Micro LED功能層制備及中試開發場景，覆蓋基板處理、精密涂布、烘烤及在線檢測等工藝環節。

圖片來源：德滬涂膜

據介紹，該設備采用高集成化設計，可兼容不同尺寸基板及多種上料方式，并集成基板清洗、精密狹縫涂布、加熱烘烤、在線膜厚測量等功能，實現從上料到成膜檢測的連續化工藝流程。相比傳統多設備串聯模式，可降低中試階段的工藝切換復雜度，提升開發效率。

在核心工藝方面，Micro LED功能層對膜厚均勻性及起涂穩定性要求較高。德滬表示，其針對涂布起始段膜厚控制需求，開發了新的供液泵系統、供液系統及工藝控制軟件，并通過工藝優化提升膜層均勻性與穩定性，以滿足Micro LED中試及多品種開發需求。

資料顯示，德滬涂膜設備成立于2014年，主要從事鈣鈦礦電池、平板顯示、集成電路先進封裝等領域的精密涂膜設備研發與制造。此次切入Micro LED賽道，也顯示出公司正將精密成膜技術進一步延伸至新型顯示領域。

值得一提的是，隨著Mini/Micro LED產業化推進，相關設備需求也持續增加。5月11日，博輝特宣布，在京東方珠海晶芯Mini/Micro LED COB擴產項目設備招標中成功中標，涉及自動化在線傳輸系統、真空貼膜機及擴晶機等設備。

此外，4月26日，矽電股份宣布，已分別與江西兆馳半導體有限公司及江西兆馳晶顯有限公司簽署固定資產采購合同，相關設備主要用于更小尺寸、更高精度的Mini/Micro LED芯片測試。（LEDinside整理）